固定された砥石を用いて、削り加工を行います。砥石には回転運動が与えられ、砥石内の砥粒で工作物の表面を削り、その面を平滑にし、精密に仕上げられます。

・平面研削
加工物の平面を研削する加工。加工物は、電磁チャックで保持され、テーブルは自動または手動で送りが行われます。加工物を保持するテーブルが長方形で往復運動するものと、円形で回転運動するものがあります。

・円筒研削
円筒状もしくは円板状の加工物の外面を研削する加工。加工物は、両端のセンタで支持され、回転運動が与えられます。それに回転する砥石を円形の側面で研削を行います。

装置名称 加工方法 製造メーカー 型番 保有台数
平面研削盤平面渇ェ本工作機械製作所PSG-64DX 1
平面研削盤平面渇ェ本工作機械製作所PSG-52BN 2
ロータリー研削盤平面叶i興製作所SGR-700 1
ロータリー研削盤平面鞄結梵ク機工作所TR-60 1
円筒研削盤円筒研削盤豊田工機GOP32X50 1

研磨加工は、1万年以上前の磨製石器の製作から始まる長い歴史を持った加工法ですが、新しい最先端の電子部品、光学部品の最終仕上げ加工に不可欠な加工方法です。

・ラッピング
ラッピングとは遊離砥粒を用いた研磨加工の一つで、粗い研磨加工という位置づけです。セラミックスといった非常に硬いものを、所定の形状や寸法に能率良く仕上げるのに用いられます。

・ポリッシング
ポリッシングとは遊離砥粒を用いた研磨加工の一つで、精密な仕上げ研磨加工という位置づけです。冶具に加工物を貼り付け、片面づつ研磨していきます。


装置名称 加工方法 製造メーカー 型番 保有台数
両面ラップ盤ラップスピードファム15B-5L-2M 1
両面ラップ盤ラップスピードファム9B-5L-V 3
両面ラップ盤ラップ潟^イセイTDL-15B-5MD 1
DPGポリッシュスピードファム9B-5DPG 1
片面ラップ盤ポリッシュスピードファムSDW-12B 1
片面ラップ盤ポリッシュスピードファム32BTAW 6
片面ラップ盤ポリッシュALPHA精工ASL-810 1

回転砥石を用いた切断加工は、電子部品、光学部品などの高脆性材料を高精度、高能率かつ比較的小さなカーフ幅で切断したい場合に幅広く用いられています。

・マシニングセンタ
複合的な加工を行う工作機械。主に切削、穴あけを目的としている。多数の切削工具を有し、コンピュータ数値制御により加工工具の交換、機械加工を自動で行う。

・ダイシングマシン
ウエハ上に形成された集積回路を狂いなく切断し、一つのチップとしなければならない為、高精度が求められる。ダイヤモンド製の円形回転刃(ダイシングブレード)を、エアスピンドルにて高速回転させ、研削水で冷却しながら、切断する。

装置名称 加工方法 製造メーカー 型番 保有台数
マシニングセンタ切削豊田工機PV4L-Ua 1
ダイシングマシン切断鞄結梵ク密A-WD-10A 4
ダイシングマシン切断ALPHA精工APS-200 1
NCスライサー切断渇ェ本工作機械製作所PJ-206A 1
冶具研削盤切断黒田精工GS-BMH F型 1

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